近日，中集安瑞科旗下石家莊安瑞科氣體機械有限公司（以下簡稱“石家莊安瑞科”）成功交付全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱，標志著我國電子氣體儲運裝備領域實現新的突破。
據了解，該管束式集裝箱由中集安瑞科自主研發，是一種專用于批量儲運磷烷與氫氣混合氣的特種設備。在半導體制備工藝中，需要經常采用一定濃度的磷烷和氫氣混合氣體（屬于電子氣體的一種），目前市面上這類氣體儲運主要采用高純度高壓氣瓶（Y-ton氣瓶）、小氣瓶，而此次交付的管束式集裝箱可儲氣13m³，單次運輸的儲氣量等同于200個小氣瓶的儲氣量，大幅降低氣體公司的運營成本，滿足半導體行業大量用氣的需求。
同時，由于磷烷與氫氣的混合氣極易燃燒、具有強毒性，該裝備在設計上做到“零泄露”，在管路與閥門之間完全采用軌道焊接，極大地提高了產品的安全性。
